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半导体石英材料

 

    半导体石英材料,特别是高纯石英(杂质低于10ppm的纯度),在半导体行业中具有至关重要的地位。它是半导体单晶硅制备过程中的首选材料,能够提供足够高的纯度和抗热性,同时不引入杂质。石英材料因其高温抗腐蚀、良好的物理特性、透明度等优点,在制造芯片、太阳能电池、光电显示器等领域得到广泛应用。 在半导体生产制造阶段,除了光刻外,扩散和刻蚀等前道工序也需要用到高纯石英材料。半导体设备公司在使用前都需要先对高纯石英材料进行认证。 全球范围内,能够制备高纯石英砂的产地并不多,只有美国、挪威、中国、俄罗斯和澳大利亚等少数国家有着一定的储备。然而,要想量产5N级别的石英砂,只有少量矿脉能满足要求。目前,国内4N级别的石英砂量产已初具规模,但量产5N石英砂的能力相对较弱。 此外,中巨芯的参股子公司晶恒希道还计划通过现金购买英国半导体高纯石英材料制造商Heraeus Conamic UK Limited(HC)100%的股权,以拓展公司在半导体材料领域的服务范围,并提升为客户提供解决方案的能力。 综上所述,半导体石英材料在半导体行业中扮演着至关重要的角色,其高纯度和优良性能使其成为半导体制造过程中不可或缺的材料。